电炉名称

七温区真空气氛管式炉

额定温度

1200℃（使用时间小于1小时）

连续工作温度

1100℃

升温速率

10℃ /min

石英管&管堵所放位置

炉管尺寸130 OD x122 ID x2000 L mm（可选配直径为25mm、50mm、60mm、80mm或100mm的石英管）

仪器中配有氧化铝管堵，使用时必须放在石英管两端

密封法兰

设备中配有一套卡箍式快接法兰（炉体两端带有支架，用于支撑法兰）

左端法兰上安装不锈钢截止阀和卡套接头（用于通入气体）

右端法兰上安装有防腐真空计，法兰设计为KF25接头（用于连接真空泵）

加热区

七个温区有七个立的温控系统控制，每个温区长度为150mm: 总加热区长:1050 mm ( 42 )

恒温区长度：875 mm（7个温区设置同样的温度）

温控系统

控制柜与炉体分开，采用触摸屏来操作来控制七个温区，每个温区有立的控制通道。

每个控制通道可设置30段升降温程序

设有超温和断偶保护

控温精度为：+/- 1 ºC

热电偶：采用K型铠装热电偶

控制面板上安装有RS485接口，可连接电脑将数据导出

可选

客户可选购多通道质量流量计供气系统，用于和管式炉配合来做CVD实验

可选购压力控制系统，来确保炉管内气压恒定

功率&电压

AC 208-240V 单相, 50/60 Hz

设计功率：8.5 KW (需要50A 的空气开关)

质保

一年质保期，终生维护（不含炉管、密封圈和加热元件等损耗件）

使用注意事项：

炉管内气压不可高于0.02MPa

由于气瓶内部气压较高，所以向炉管内通入气体时，气瓶上必须安装减压阀，建议在本公司选购减压阀，本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加精度安全

当炉体温度高于1000℃时，炉管内不可处于真空状态，炉管内的气压需和大气压相当，保持在常压状态

进入炉管的气体流量需小于200SCCM，以避免冷的大气流对加热石英管的冲击

石英管的长时间使用温度＜1100℃

对于样品加热的实验，不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热，则需时刻关注压力表的示数，若气压表示数大于0.02MPa，必须立刻打开泄气阀，以防意外发生（如炉 管破裂，法兰飞出等）