四路质子混气供气系统可将多种气体安一定比例均匀混合后通入到管式炉中。各种气体的流量是通过精密的质量流量计来控制，流量计和混气罐都安装在一个移动柜内，而且移动柜顶部可以放置管式炉。此系列设备可用于搭建CVD系统，也可为样品退火提供所需的气氛环境。

四路质子气路系统主要特点:

1、该供气适用于低压小流量，多种气体单一/混合连续供气系统。尤其方便多种气体的切换使用，而不会造成大气进入加热管。

2、气体压力和流量数据在同一平面直观可读，外形美观、实用，操作简便。

3、所有仪表及阀门的连接均采用活接头连接，便于维修拆卸。

4、鼓泡器的主要作用是将供气系统输出的作为载气的氢气、氮气或者氩气等气体注入至液态源不锈钢鼓泡器(bubbler)中，携带出需要的各种非腐蚀性液态源的蒸汽，并将其输送至反应腔体，在高温下参与反应生成设计终需要的薄膜或者完成相应的化学反应。

5、该设备广泛用于各种使用非腐蚀性液态源蒸汽的CVD，催化反应和活化实验。

四路质子气路系统主要参数：