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1200℃单温区3路质量供气低真空CVD系统

责任编辑:未知 发布时间:2020-07-15  点击数:  

SGM 1200℃单温区3路质量供气低真空CVD是由洛阳西格马研发生产的实验室用CVD系统设备,SGM 1200℃单温区3路质量供气低真空CVD系统由单温区管式炉、三路浮子流量计和双极旋片真空泵组成。该1200℃单温区3路质量供气低真空CVD系统管式炉采用高清真彩触控屏操作,简单易上手,即使是非专业人员经过简单的培训也可以熟练掌握。

低真空CVD系统介绍:

O1200-50IT-3Z-LV 1200℃单温区3路质量供气低真空CVD系统由单温区管式炉、三路浮子流量计和双极旋片真空泵组成。管式炉由精密控温仪表进行PID控温,可编辑30段升降温程序,同时有过热和断偶保护功能。炉管两侧法兰配有数字式真空计和机械式压力表,可以用来控制路管内的气氛环境。同时1200℃单温区3路质量供气低真空CVD系统管式炉采用高清真彩触控屏操作,简单易上手,即使是非专业人员经过简单的培训也可以熟练掌握仪器的使用方法,能够极大的提高您的实验效率。1200单温区3路供气低真空CVD系统所配有的三路质量流量计,精度高可靠性强,可以准确混合1~3路气体,操作面板采用数字显示,直观高效。若客户有特殊需要也可联系技术人员定制任意数量的气路。

应用范围:

低真空CVD系统可用于高校、科研院所、工矿企业做高温烧结、金属退火、质量检测等,尤其适合需要多种气体混合的气氛环境的CVD实验。

低真空CVD系统主要技术参数:

电炉名称

1200℃单温区3路质量供气低真空CVD系统

电炉型号

SGM-O1200-50IT-3Z-LV

参数

1、供电电源:AC:220V 50/60Hz

2、炉管  材质:高纯石英; 尺寸:直径50mm(可选配60mm、80mm、100mm)、长度800mm(炉膛长度:440mm)

3、加热区:长400mm;  恒温区:长200mm

4、工作温度:0~1100℃; 控温精度:±1℃; 

5、控温模式:30段或50段程序控温

6、显示模式:LCD

7、密封方式 :304不锈钢真空法兰 ;法兰接口:1/4英寸卡套接头、KF16/25/40接头

8、可抽真空:4.4E-3Pa

9、供气系统:TN-3Z  3通道气体通道
     测量部件:气体质量流量计
     测量量程:A通道:0~100SCCM    H2气
                       B通道:0~300SCCM    N2气
                       C通道:0~500SCCM    Ar气
 备注:如需其它量程或气体种类,定货时需特别注明。根据客户的具体要求来选配对应的气体种类和量程的流量计。
    测量精度:±1.0%F.S
    管道耐压:3MPa
    工作压差:50~300KPa
    连接管道:304不锈钢
    控制阀门:304不锈钢针阀
    接口规格:进气口和出气口为1/4英寸卡套接头
    供电电源:AC:220V 50/60Hz

10、排气系统:旋片泵 
     抽气速率: 旋片泵:1.1L/S
     抽气/排气接口:KF16
     真空测量复合真空计:电阻规
     极限真空:1.0E-1Pa
     供电电源:AC220V 50/60Hz

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