收藏网址网站地图 洛阳高温马弗炉厂具有20多年生产与研发的高温电炉厂家
400-600-3293
当前位置: 洛阳高温马弗炉厂家 > 新闻中心 > 电炉选购 > > 1200℃双温区CVD系统_CVD实验管式炉

1200℃双温区CVD系统_CVD实验管式炉

责任编辑:未知 发布时间:2019-12-26  点击数:  

1200℃双温区CVD系统介绍:

气相化学沉积系统(CVD管式炉)是利用气态化合物或化合物的混合物在基体受热面上发生化学反应,从而在基体表面上生成不挥发涂层的一种薄膜材料制备系统,它由真空管式炉,多通道气路系统和真空系统组成。适用于CVD工艺,如碳化硅镀膜、陶瓷基片导电率测试、ZnO纳米结构的可控生长、碳纳米管生长、石墨烯材料制备、陶瓷电容(MLCC)气氛烧结等实验。


SGM 双温区CVD管式炉设计有两个温区,采用双层壳体结构和智能化程序控温系统,移相触发、可控硅控制,炉膛采用氧化铝多晶体纤维材料,双层炉壳间配有风冷系统,具有真空装置,可以通气氛抽真空,真空泵可以根据客户要求的真空度选配,该炉具有温场均衡、表面温度低、升降温度速率快、节能等优点。

管式炉主要通过程序自动*控温来实现CVD、PVD和退火处理等实验手段,并且可以通过滑轨实现快速降温。双温区滑轨炉规格参数:

配置:双温区滑轨管式炉一套(带三路流量控制系统一套氮气500sccm,氩气500sccm,氢气50sccm),KF25抽气口真空泵一套,法兰改装(两端全部改装,每端三个出气口其中包括KF25抽气接口,1/4,接口出气口,以及真空压力表出气口和宝塔抽气接口)

SGM 双温区CVD管式炉主要功能和特点:

1、壳体结构:双层壳体结构,并带有风冷系统,使得壳体表面的温度小于60度;炉膛保温材料采用高纯氧化铝多晶纤维,减少热量的损失;内炉膛表面涂有美国进口1750度高温氧化铝涂层可以提高反射率及设备的加热效率,同时也可以延长仪器的使用寿命

2、功率:2.5KW

3、电压:AC220V50Hz/60Hz

4、工作温度:*高1200℃(<1h),连续工作1100℃

5、升降温速率:20℃/min

6、控温精度:±1℃

7、真空度:10-2torr(机械泵),10-5torr(分子泵)

8、漏气率:<5mtorr/min

9、升温速率:≤10℃/min

10、炉管尺寸和法兰:纯度99.8%的高纯石英管;包括不锈钢真空密封法兰,针阀,和压力表

11、扩展接口:标配KF25adapter转接头;标配VCR双卡套接头,炉子两端装有法兰支架支架长度根据炉管尺寸定做!(非标定制)

12、温控系统:PID智能化温度控制器,可以设置30段升降温程序;每个温区可以独立的设置,带有过热和断偶保护

13、控制方法:PID自动控制

 

双温区CVD管式炉又称双温区管式梯度炉,双温区管式梯度炉专门设计用于有温度梯度要求的CVD工艺。两个温区独立控制,温区可单独使用。SGM CVD管式炉采用双层壳体结构,智能化程序控温系统,可控硅控制,控温精度高;内置两个温区,可以营造不同的温度梯度。

联系我们 联系我们
联系方式
全国咨询热线

400-600-3293

公司电话:0379-65112853

传真号码:0379-65112853

Q Q: 1835521967

邮 箱:1835521967@qq.com

地址:洛阳市高新区火炬创新创业园

QQ在线客服
400热线:
400-600-3293
咨询热线:
0379-65112853