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高温真空炉扩散泵抽不上真空是什么原因造成的？如何解决？
名称：厂家 发布时间： 2019-09-09 点击数：172
高温真空气氛炉扩散泵抽不上真空是什么原因？高温真空气氛炉扩散泵抽不上真空怎么办？
高温真空气氛炉扩散泵抽不上真空原因：
1、扩散泵或主阀气缸有泄漏；
2、炉腔有泄漏；
解决方法：
先打开阀门后，真空炉的真空度不降反升。说明确实有漏。反复启动是因为扩散泵本身有一个启动的真空度要求，质的国产的泵都有。真空度一般在2pa以内扩散泵才可以启动。所以真空度只要超过2pa以上，那这个高真空阀肯定就会关闭，所以问题就出在高真空阀上。使用真空氦气检漏就可以查出问题的所在。
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链接：http://wwww.zzdianlu.com//dianlu/310.html
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