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高温真空炉扩散泵抽不上真空是什么原因造成的?如何解决?

责任编辑:未知 发布时间:2019-09-09  点击数:  

高温真空气氛炉扩散泵抽不上真空是什么原因?高温真空气氛炉扩散泵抽不上真空怎么办?

高温气氛炉

高温真空气氛炉扩散泵抽不上真空原因:

1、扩散泵或主阀气缸有泄漏;

2、炉腔有泄漏;

解决方法:

先打开阀门后,真空炉的真空度不降反升。说明确实有漏。反复启动是因为扩散泵本身有一个启动的真空度要求,进口的国产的泵都有。真空度一般在2pa以内扩散泵才可以启动。所以真空度只要超过2pa以上,那这个高真空阀肯定就会关闭,所以问题就出在高真空阀上。使用真空氦气检漏就可以查出问题的所在。

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